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展会快讯 | 中科科仪亮相IC WORLD大会,隆重推出半导体行业专用磁悬浮分子泵
2021-10-25

       10月22-24日,2021年北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会在北京亦创国际会展中心召开,本届大会以“凝聚芯力量,打造芯永恒”为主题,召开了精彩纷呈的学术会议,集中探讨集成电路产业链关键核心技术。会议同期举办博览会,覆盖以半导体产业为核心的集成电路装备与零部件相关企业,吸引了200多家企业参展交流。
       中科科仪作为集成电路装备核心零部件领先供应商,携多款产品参加了本次展会,向业内专家和广大客户展示了半导体设备国产化解决方案。其中,中科科仪承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发及产业化”项目经过技术迭代,产品稳定性、可靠性得到大幅提升,并在芯片制造前道工艺如刻蚀、离子注入设备中实现长期无故障运行,为我国集成电路装备核心零部件国产化提供了有效解决方案。本次展会中,中科科仪展出的CXF-250/2302CV即是针对半导体刻蚀工艺研发的磁悬浮分子泵,有效解决了半导体前道工艺高真空核心零部件“卡脖子”问题。



       集成电路产业是信息技术产业的核心,是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。当前,我国集成电路产业正处在前所未有的大变局中,一方面数字经济、新基建正成为我国集成电路产业发展的重要驱动力,另一方面,复杂的外部产业环境变化也为我国集成电路产业带来全链突破、加速发展的历史性机遇。中科科仪作为半导体装备核心零部件供应商,凭借自身多年来在真空和电子光学领域的技术积淀,以国家队、国家人的使命担当,以攻坚克难、敢为人先的气魄,不断突破关键核心技术,为我国科技自立自强做出应有的贡献!

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