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中科科仪承担国家02科技重大专项“磁浮分子泵系列产品开发与产业化”项目顺利通过验收
2017-12-19

       12月17日,国家科技重大专项02专项实施管理办公室组织验收专家组在中科科仪召开了国家科技重大专项——极大规模集成电路制造装备及成套工艺“磁浮分子泵系列产品开发与产业化”项目正式验收会。02专项总体专家组总师、中科院微电子所所长叶甜春,02专项实施管理办公室领导、验收组专家,国科控股总经理索继拴,中科科仪董事长张永明、总裁陈静及项目相关人员出席会议。

       会上,验收组专家认真听取了项目负责人、中科科仪副总裁李奇志的项目情况汇报,以及北方华创、中科院微电子所、中科信的产品应用考核情况汇报,现场测试组组长的现场测试、资料审查、设备清点结果报告,并实地到现场进行了考察。任务验收专家和财务验收专家对提交的项目验收资料分别进行了审查、质询。经过专家组综合讨论评议,项目完成任务合同书规定的各项考核指标,通过正式验收。

       与会验收专家对本项目成果给予高度评价和充分肯定。项目突破和掌握磁悬浮分子泵设计制造的核心技术,研究开发了2个型号磁悬浮分子泵,产品满足PECVD等IC设备的使用要求。此外,项目成果实现批量销售,完成了任务合同书规定的经济考核指标。申请专利61项,其中国内授权发明专利35项、国际发明专利6项、实用新型专利15项;软件著作权1项,制定国家标准1项,行业标准1项。

       磁悬浮分子泵研制成功,一举打破了国外企业的垄断局面,填补了国内空白,同时产品参与市场竞争,促使国外产品大幅度降价,极大提高了下游企业的整体竞争力,为提高我国真空相关高端装备关键零部件的国产化水平,完善我国真空相关高端装备制造产业链本地化建设起到了积极的推动作用。展望未来,中科科仪将继续秉承“创新科学仪器,发展一流企业”的使命,以一流电子光学和真空技术,为国家高端科学仪器设备进步和工业制造水平提升贡献力量。

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