金风送爽，丹桂飘香。9月22日至24日，第六届粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会学术年会在广州科学城成功举办，同期举办“先进微纳制造技术与前沿应用高峰论坛”，作为中国尖端科学仪器和真空技术的引领者，中科科仪受邀出席，分享半导体行业专用磁悬浮分子泵技术。

本届展会由广东省真空学会、广东省真空产业技术创新联盟主办，广州今泰科技股份有限公司承办。会议特邀十余位国内外著名专家和行业龙头企业做大会报告，交流真空技术在电子信息、半导体器件、新能源开发、工模具涂层、微纳制造领域的最新应用进展。中科科仪真空技术研发中心时剑文博士在真空装备与应用工艺会场做了题为《半导体行业专用磁悬浮分子泵技术》的线上报告，系统介绍磁悬浮分子泵技术及磁悬浮分子泵在半导体行业应用，获得与会专家和学者的一致好评。

真空产业作为知识密集、技术密集的战略性新兴产业，是支撑战略性产业发展的基础产业，也是未来技术竞争的制高点，市场发展潜力巨大。作为国家战略科技力量投资兴办企业，中科科仪面向国家战略需求，聚焦主责主业发展，聚力核心技术攻关，培育壮大新兴产业，抢抓市场新机遇。集成电路零部件是决定我国集成电路产业高质量发展的关键领域。磁悬浮分子泵可获得清洁无油的超高真空环境，是集成电路前道工艺刻蚀、离子注入、薄膜沉积装备的关键核心零部件。中科科仪自研制中国首台磁悬浮分子泵以来，加速推进磁悬浮分子泵规模产业化，产品广泛应用于半导体、光伏、镀膜、平板显示、科学研究、新能源、新材料等领域。其中，中科科仪系列半导体行业专用磁悬浮分子泵具有卓越可靠的耐腐蚀能力、安全稳定的防沉积能力、配置灵活的分体式设计以及紧凑便利的高集成设计特点，性能指标对标国际一流产品，有效成为集成电路装备制造的国产化解决方案。

未来，中科科仪将继续秉承“创新科学仪器，发展一流企业”使命，强化国家战略科技力量使命担当，积极抢抓粤港澳发展机遇，在中国尖端科学仪器和真空技术领域不断发挥引领者作用，攻坚克难，加大关键核心技术研发投入，提升市场竞争力，为集成电路产业新生态的建设贡献力量！