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中科科仪 | 做中国自己的电子显微镜,打好科技仪器设备攻坚战

发布时间:2023-04-19 文章来源: 浏览量: 字号:


习近平总书记强调:“要打好科技仪器设备、操作系统和基础软件国产化攻坚战,鼓励科研机构、高校同企业开展联合攻关,提升国产化替代水平和应用规模,争取早日实现用我国自主的研究平台、仪器设备来解决重大基础研究问题。”


科技仪器研发水平是创新实力的体现,也在很大程度上决定着基础研究和新技术、新产品开发的广度和深度。从历史上看,许多重大科学研究成果的突破,通常以科学仪器和技术手段的创新为先导。上世纪50年代,抱着“要做自己的电子显微镜”的信念,我国光学事业奠基人王大珩带领团队攻关,获得一系列创新成果,为相关国产精密仪器发展奠定了基础,推动了光学研究的进步。从未来发展趋势看,随着科学研究、技术开发向物质极端尺度推进,科技仪器设备发挥的作用将更为关键。

——《人民日报》



(一)自主创新,发展中国自己的电子光学技术


王大珩院士曾指出“仪器是认识世界的工具!”电子显微镜正是认识亚微米以及纳米尺度微观世界的重要工具。正如《人民日报》提到的,上世纪50年代,我国光学事业奠基人王大珩等人在制定我国《1956~1967年科技发展远景规划纲要》时提出了要研制电子显微镜的想法,并成立了仪器规划小组。



抱着“要做自己的电子显微镜”的信念,王大珩院士带队攻关,获得一系列创新成果,为相关国产精密仪器发展奠定了基础,推动了光学研究的进步。


1958年8月,攻关团队在长春光机所研制成功我国第一台“自制”的中型电子显微镜DX-100(I)(也称XD-100(I)),分辨率10nm,开创了中国制造电子显微镜的历史。


我国第一台电子显微镜DX-100(I)


(二)继往开来,走好中科科仪电镜产业化之路


根据《科技十年发展规划纲要》的要求,中国科学院科学仪器厂(后转制成为北京中科科仪股份有限公司,本文统称“中科科仪”),作为中科院重要的科研仪器研制单位,开始承担试制高分辨率电子显微镜的任务。1963年,为了集中优势技术力量进行攻关,原长春光机所从事电子显微镜研制工作的骨干研究团队调入中科科仪。


中科科仪电子光学研发团队立足于“自行设计为主,参考样机为辅”的技术路线,加强关键核心部件的试验,致力于研发我国自主设计的透射电子显微镜。


1965年,中科科仪研制成功DX-2型透射电子显微镜,点分辩本领达5Å,达到国际先进水平,这款电镜被“全国仪器仪表新产品展览会”列为重大新产品在展馆展出。


DX-2型透射电子显微镜


上世纪70年代,基于深厚的电子光学技术基础和产业化能力,中科科仪开始承担中科院关于扫描电子显微镜的试制任务,自主研制中国自己的扫描电子显微镜。


1975年,中科科仪研制成功我国第一台DX-3型扫描电子显微镜,样机通过了来自全国各地30多个单位,60多名代表的鉴定测试,分辨率优于10nm,主要指标达到当时国际先进水平。


DX-3型扫描电子显微镜


1978年,DX-3扫描电子显微镜荣获科学大会一等奖和中国科学院重大科技成果奖一等奖,“科仪厂扫描电镜组”荣获国务院总理亲笔题词的荣誉证书。DX-3型扫描电镜,总计生产了近百台,为我国的科研事业的发展做出突出贡献,这既是我国高端科学仪器研制工作的成功,也是电镜产业化发展的巨大胜利。


华国锋亲笔题词的荣誉证书


此后,中科科仪电子光学研发团队持续创新发展,先后研制出我国第一台高分辨大型透射电子显微镜DX-4型、第一台带有数字图像处理功能的扫描电子显微镜KYKY-2000型、第一台全计算机控制的扫描电子显微镜KYKY-3800型、第一台低真空扫描电子显微镜KYKY-EM6900LV型,实现国内领域多项零的突破,始终走在国产科技仪器设备自主创新之路的最前沿。


(三)劈波斩浪,打好国产科技仪器设备攻坚战


为提高我国科学仪器设备的自主创新能力和自我装备水平,2013年,中科科仪作为牵头单位,勇担国产电镜创新发展重任,揭榜国家重大科学仪器设备开发专项——“场发射枪扫描电子显微镜开发与应用”项目,续写国产高端科学仪器自主研发与产业化发展新篇章。


2014年,中科科仪突破了多项技术壁垒,研制成功我国首台场发射枪扫描电子显微镜KYKY-EM8000,分辨率优于1.5nm,打破了国外的技术和市场垄断。


2017年,中科科仪研制成功KYKY-EM8100高分辨场发射枪扫描电镜,分辨率突破至1.0nm,达到最新国际一流水平,并成功实现产业化。

KYKY-EM8100型场发射枪扫描电子显微镜


由“0”到“1”,再到“100”,一代代科仪人始终永葆初心、矢志奋斗,继承和发扬老一辈“电镜人”的创新精神和严谨作风,诠释新一代担当,不断突破关键核心技术,为国产高端科学仪器发展贡献青春力量。


当前科学仪器设备市场空间大,国产替代弹性高,应用场景广,国产科学仪器研发和应用推广大有可为。作为国家战略科技力量投资兴办的企业,中科科仪将牢牢抓住建设世界科技强国带来的发展新机遇,积极联合攻关,永续创新,打好科技仪器设备国产化攻坚战,为基础研究和技术创新提供更多得心应手的强大工具,为我国前沿科学研究和战略新兴产业发展不懈奋斗!


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