真空获得
DFF-63/80
产品特点
- 更高转速对小分子气体压缩比更高
- 单磁轴承结构超长运行寿命
- 集成式控制器支持多种控制方式
- 任意角度安装应用场景广泛
应用领域
电子显微镜、检漏、质谱、表面分析、等离子监测、残余气体分析、医学技术、工业检漏、电子束焊接、隔离真空、核研究、等离子研究、粒子加速器、冷冻研究、基本粒子物理学、纳米技术、生物技术
- 技术指标
- 尺寸
- 产品特性
- 配件
- 下载
- 进气口法兰
- DN63 ISO-K DN63 CF-F
- 抽速速率（L/s）
- N2:85 He:73 H2: 61 Ar:83
- 压缩比
- N2：＞1E11 He：＞1.3E7
- 临界前级压力（Pa）
- N2：2200 He:2200
- 最低工作压力（Pa）
- DN63 ISO-K：＜8E-6 DN63 CF-F：＜2E-7
- 额定转速（RPM）
- 90000
- 启动时间（min）
- ＜2.5
- 噪音（dB）
- ＜48
- 振动值（μm）
- ＜0.05
- 设计无故障运行时间（h）
- ＞15000
- 安装角度
- 任意角度
- 冷却方式
- 自然冷却、风冷、水冷
- 排气口法兰
- DN16 ISO-K
- 建议前级泵（L/s）
- 0.5-2
- 高真空法兰烘烤温度（℃）
- 100
- 环境温度（℃）
- 5-30（自然冷却）、5-35（风冷）、5-40（水冷）
- 重量（kg）
- DN63 ISO-K：2.8 DN63 CF-F：4.5
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 |