真空获得
CXF-250/2302CS
产品特点
- 高性能气体输送涡轮叶片
- 耐反应产物沉积结构与功能
- 丰富的配件与可扩展性
应用领域
表面分析、等离子体监测、残余气体分析、光刻、物理气相沉积 PVD、化学气相沉积 CVD、离子刻蚀、注入-光束、检测、分子束外延 MBE、真空锁 转运箱、平板显示、LED/OLED、硬盘镀膜、光伏、玻璃镀膜、CD/DVD、光学镀膜、硬质涂层、卷绕镀膜、医学技术、电子束焊接、真空干燥、核研究、聚变技术、等离子研究、粒子加速器、模拟空间站、冷冻研究、基本粒子物理学、纳米技术、生物技术
- 技术指标
- 尺寸
- 产品特性
- 配件
- 下载
- 进气口法兰
- DN250 ISO-F DN250 CF
- 排气口法兰
- KF40
- 抽速速率（L/s）
- N2:2360 Ar:2260 He: 1980 H2:1250
- 压缩比
- N2:＞1E8 Ar:＞1E8 He: ＞1E4 H2:＞1E3
- 极限压强（Pa）
- 1E-7（橡胶密封Rubber seal） 1E-8（金属密封metal seal）
- 最大瞬时入口流量（sccm）
- 1500
- 保护气入口法兰（选配）
- KF10
- 推荐保护气体流量（sccm）
- 50
- 最大允许磁场强度（mT）
- 径向Radial：3 轴向 Axial：15
- 额定转速（RPM）
- 30000
- 启动时间（min）
- ≤9
- 停机时间（min）
- ≤12
- 冷却方式
- 水冷
- 冷却水流量（L/min）
- 3
- 冷却水温度（℃）
- 20±5
- 电源电压（VAC）
- 220±10%，50Hz 110±10%，60Hz
- 最大功率（W）
- 1000
- 适配电源型号
- CXFD-1001S
- 控制线缆长度（m）
- 5或10（选配）
- 建议前级泵（L/s）
- ≥22
- 重量（kg）
- 60
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 |