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CXF-320/3002CS

产品特点

  • 高性能气体输送涡轮叶片
  • 耐反应产物沉积结构与功能
  • 丰富的配件与可扩展性

应用领域

表面分析、等离子体监测、残余气体分析、光刻、物理气相沉积 PVD、化学气相沉积 CVD、离子刻蚀、注入-光束、检测、分子束外延 MBE、真空锁 转运箱、平板显示、LED/OLED、硬盘镀膜、光伏、玻璃镀膜、CD/DVD、光学镀膜、硬质涂层、卷绕镀膜、医学技术、电子束焊接、真空干燥、核研究、聚变技术、等离子研究、粒子加速器、模拟空间站、冷冻研究、基本粒子物理学、纳米技术、生物技术
  • 技术指标
  • 尺寸
  • 产品特性
  • 配件
  • 下载
  • 进气口法兰
    DN320 ISO-F
    排气口法兰
    KF40
  • 抽速速率（L/s）
    N2:3260 Ar:2900 He: 2550 H2:1730
    压缩比
    N2:＞1E8 Ar:＞1E8 He:＞ 1E4 H2:＞1E3
  • 极限压强（Pa）
    1E-7（橡胶密封Rubber seal）
    最大瞬时入口流量（sccm）
    2400
  • 保护气入口法兰（选配）
    KF10
    推荐保护气体流量（sccm）
    50
  • 最大允许磁场强度（mT）
    径向Radial：3 轴向 Axial：15
    额定转速（RPM）
    24000
  • 启动时间（min）
    ≤10
    停机时间（min）
    ≤14
  • 冷却方式
    水冷
    冷却水流量（L/min）
    3
  • 冷却水温度（℃）
    20±5
    电源电压（VAC）
    220±10%，50Hz 110±10%，60Hz
  • 最大功率（W）
    1000
    适配电源型号
    CXFD-1001S
  • 控制线缆长度（m）
    5或10（选配）
    建议前级泵（L/s）
    ≥30
  • 重量（kg）
    76
    文件名 类型 语言 日期 文件大小

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