真空获得
CXF-320/3001CVS
产品特点
- 高性能气体输送涡轮叶片
- 耐反应产物沉积结构与功能
- 丰富的配件与可扩展性
应用领域
光刻、物理气相沉积 PVD、化学气相沉积 CVD、离子刻蚀、平板显示、LED/OLED、等离子研究、粒子加速器
- 技术指标
- 尺寸
- 产品特性
- 配件
- 下载
- 进气口法兰
- DN320 ISO-F
- 加热温度
- 60至70℃
- 排气口法兰
- KF40
- 抽速速率（L/s）
- N2:2950 Ar:2750 He: 2300 H2:1100
- 压缩比
- N2:1E8 Ar:1E8 He: 1E4 H2:1E3
- 极限压强（Pa）
- 1E-7（橡胶密封Rubber seal）
- 最大瞬时入口流量（sccm）
- 2100
- 保护气入口法兰（选配）
- KF10
- 推荐保护气体流量（sccm）
- 50
- 最大允许磁场强度（mT）
- 径向Radial：3 轴向 Axial：15
- 额定转速（RPM）
- 21000
- 启动时间（min）
- ≤9
- 停机时间（min）
- ≤12
- 冷却方式
- 水冷
- 冷却水流量（L/min）
- 3
- 冷却水温度（℃）
- 20±5
- 电源电压（VAC）
- 220±10%，50Hz 110±10%，60Hz
- 最大功率（W）
- 1000
- 适配电源型号
- CXFD-1001S
- 控制线缆长度（m）
- 5或10（选配）
- 建议前级泵（L/s）
- ≥30
- 重量（kg）
- 73（ISO-F）
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 |